[发明专利]一种超声波指纹模组的制备方法在审
申请号: | 202310318773.3 | 申请日: | 2023-03-24 |
公开(公告)号: | CN116322268A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 李萍;邱欢;蒋志利 | 申请(专利权)人: | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
主分类号: | H10N30/076 | 分类号: | H10N30/076;H10N30/30;H10N30/87;G06V40/13 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 王震 |
地址: | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种超声波指纹模组的制备方法,涉及指纹识别技术领域。该超声波指纹模组的制备方法包括:在基板上形成压电层;采用气相沉积的方式将导电金属沉积在压电层上以形成导电层。该超声波指纹模组的制备方法采用气相沉积的方式制备导电层,能够提高导电层的均匀性和尺寸精度,进而极大程度上提高了超声波信号均匀性,使超声波指纹模组具有更好的测试性能及贴屏效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 超声波 指纹 模组 制备 方法 | ||
【主权项】:
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