[发明专利]一种抛光用氧化铝粉体及其制备方法在审
| 申请号： | 202310327150.2 | 申请日： | 2023-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN116354374A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王程民;黄君;柏向阳;王大忠;陆琤 | 申请（专利权）人： | 雅安百图高新材料股份有限公司;成都百图高新材料科技有限公司;上海百图高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01F7/02 | 分类号： | C01F7/02;C01F7/021;C01F7/023;C01F7/441;C09G1/02 |
| 代理公司： | 成都欣圣知识产权代理有限公司 51292 | 代理人： | 易丹 |
| 地址： | 62519*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光用氧化铝粉体及其制备方法，该方法包括：选取氢氧化铝原料，加入热纯水中，并加入生长剂，配置第一浆液；向所述第一浆液中加入pH调节剂，调节至酸性，研磨，获得氢氧化铝母液；将所述氢氧化铝母液经陶瓷膜洗涤，浓缩，获得第二浆液；将所述第二浆液进行水热晶化处理，处理后经陶瓷膜洗涤，干燥获得氧化铝前驱体；将所述氧化铝前驱体进行煅烧，获得氧化铝粉体。该方法工序简单，易于控制，制得的氧化铝粉体呈平板状结构，形状规则，棱角少，表面平整，粒径及厚度尺寸适宜，适于用作半导体晶圆的精抛材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 氧化铝 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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