[发明专利]一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置有效
| 申请号： | 202310335400.7 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116045835B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 赵智亮;赵子嘉;颉自强;张志华;王雪竹;陈辉;葛瑞红 | 申请（专利权）人： | 成都太科光电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01N21/45;G01J9/02 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 彭思雨 |
| 地址： | 610000 四川省成都市温*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学系统测量领域，公开了一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置，所述装置包括激光光源组件、扩束组件、超大口径平面干涉测试组件、球面干涉测试组件、成像组件、测试对准组件和光路切换组件。本发明的干涉测试装置能够实现Φ20mm～800mm口径范围的所有口径平面光学元件反射面形、透射面形、光材料折射率均匀性等参数干涉测试分析，同时兼顾实现Φ20mm～800mm口径球面元件面形检测、光学系统综合波前检测。本发明的干涉测试装置最大可测试口径达到Φ800mm，装置物方分辨率小于0.4mm，系统测试精度PV值小于53nm，RMS值小于6nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超大 口径 平面 球面 光学 干涉 测试 装置 | ||
【主权项】：
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