[发明专利]一种超薄悬空膜透射电镜样品的制备方法在审
申请号: | 202310336556.7 | 申请日: | 2023-03-31 |
公开(公告)号: | CN116380582A | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 李金磊;李晓敏;缪睿;黄晋华;郑海鹏;华佑南;李晓旻 | 申请(专利权)人: | 胜科纳米(苏州)股份有限公司 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28;C23C28/00;C23C16/40;C23C16/455;C23C14/22;C23C14/06;C23C16/52;C23C14/14;B82Y30/00;B82Y40/00;G01N23/20008;G01N23/04 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王艳斋 |
地址: | 215124 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明提供了一种超薄悬空膜透射电镜样品的制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)使用铪源和氧源在悬空膜的表面交替进行多层原子层沉积,得到氧化铪层;(2)采用聚焦离子束在步骤(1)所述氧化铪层的表面依次沉积碳和金属薄膜,制得悬空膜透射电镜样品。所述制备方法通过在低温下依次交替沉积生长硬质HfO |
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搜索关键词: | 一种 超薄 悬空 透射 样品 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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