[发明专利]一种超薄悬空膜透射电镜样品的制备方法在审
| 申请号： | 202310336556.7 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116380582A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李金磊;李晓敏;缪睿;黄晋华;郑海鹏;华佑南;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;C23C28/00;C23C16/40;C23C16/455;C23C14/22;C23C14/06;C23C16/52;C23C14/14;B82Y30/00;B82Y40/00;G01N23/20008;G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王艳斋 |
| 地址： | 215124 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种超薄悬空膜透射电镜样品的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)使用铪源和氧源在悬空膜的表面交替进行多层原子层沉积，得到氧化铪层；(2)采用聚焦离子束在步骤(1)所述氧化铪层的表面依次沉积碳和金属薄膜，制得悬空膜透射电镜样品。所述制备方法通过在低温下依次交替沉积生长硬质HfO |
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| 搜索关键词： | 一种 超薄 悬空 透射 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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