[发明专利]光子晶体激光器在审
申请号: | 202310337435.4 | 申请日: | 2023-03-31 |
公开(公告)号: | CN116247512A | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 郑婉华;徐传旺;齐爱谊;渠红伟;周旭彦;王亮;王天财 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10;H01S5/028;H01S5/20 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周天宇 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开提供一种光子晶体激光器,涉及半导体激光器领域,其包括衬底,依次叠设于衬底上的N型限制层、N型波导层、有源层、P型波导层、P型限制层、绝缘层、欧姆接触层以及P面电极层;其中,在沿腔长方向的两面分别设置反射率均为0%的第一膜层和第二膜层,用于抑制光波模式在腔长方向形成振荡;在沿腔长方向的两面相邻的两侧面,一个侧面设置反射率为0%‑10%的第三膜层,另一个侧面设置反射率为90%‑100%的第四膜层,用于光波模式在侧面方向形成振荡。本公开保证输出光信号高功率的情况下,可以避免产生纵向烧孔效应。 | ||
搜索关键词: | 光子 晶体 激光器 | ||
【主权项】:
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