[发明专利]MEMS致动器组结构在审
| 申请号： | 202310363475.6 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN116216626A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 刘晓磊;王桂芹;马修·恩格 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓微电子（南京）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;马晓田 |
| 地址： | 211806 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一个以六个自由度移动平台的封装。该平台可以包括安装在其上的光电子装置。封装包括可以是MEMS致动器的平面内致动器和可以由压电元件形成的平面外致动器。平面内MEMS致动器可以安装在平面外致动器上，平面外致动器安装在PCB中的凹陷中。平面内MEMS致动器包括多个梳状结构，其中相对的梳状物的指状物彼此重叠，即延伸经过彼此的端部。平面外致动器包括中心部分和连接到中心部分的多个环绕台。平面内MEMS致动器联接到Z平面外驱动器，以向有效负载提供三个自由度，该有效负载可以是包括在封装中的光电子装置。 | ||
| 搜索关键词： | mems 致动器组 结构 | ||
【主权项】：
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