[发明专利]一种磁悬浮分子泵位移传感器的校准方法及其应用有效
| 申请号： | 202310364785.X | 申请日： | 2023-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN116086300B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 付国林;刘立军;李赏 | 申请（专利权）人： | 苏州中科科仪技术发展有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;F04D27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁悬浮分子泵位移传感器的校准方法及其应用，其要解决的是磁悬浮分子泵的一对位移传感器不易配对的问题。其技术要点在于：将不同的位移传感器的呈非线性距离‑输出电压曲线均校准成一条内置的呈线性关系的距离‑输出电压曲线。采用本申请的技术方案，对于两个“距离‑输出电压”曲线相差很大的位移传感器，也可以进行配对使用；位移传感器的使用范围不再受“距离‑输出电压”曲线一致性要求的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁悬浮 分子 位移 传感器 校准 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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