[发明专利]温控系统、真空镀膜设备以及串级控制方法在审
| 申请号： | 202310368794.6 | 申请日： | 2023-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN116377411A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 江元元;夏慧;张晓军;李炳坤;龚文志;孙守祥;姚酉 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52;C23C16/46;C23C16/458;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 李峥嵘 |
| 地址： | 518131 广东省深圳市龙华区民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种温控系统、真空镀膜设备以及串级控制方法。温控系统包括升温组件、制冷组件、第一PID控制器和第二PID控制器。第一PID控制器包括第一接收端、第二接收端、第一输出端和第二输出端，第一接收端和第二接收端分别用于接收目标温度信号和实际温度信号，第一输出端与升温组件电连接。第二PID控制器包括第三接收端、第四接收端和第三输出端，第三接收端与第二输出端连接，第四接收端用于接收制冷组件的冷却液的温度信号，第三输出端与制冷组件电连接。通过将第一PID控制器和第二PID控制器进行串联，并通过第一PID控制器和第二PID控制器分别对升温组件和制冷组件进行控制，能够使得升温组件和制冷组件的工作是联动的，从而提高温度切换的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 温控 系统 真空镀膜 设备 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
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