[发明专利]显示装置制造用光掩模、以及显示装置的制造方法在审

专利信息
申请号: 202310372114.8 申请日: 2018-03-07
公开(公告)号: CN116500854A 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 今敷修久 申请(专利权)人: HOYA株式会社
主分类号: G03F1/26 分类号: G03F1/26;G03F1/76
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 姜越
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种显示装置制造用光掩模,其能够在被转印体上稳定地形成微细的孔图案。该显示装置制造用光掩模构成为在透明基板上具有转印用图案,转印用图案包括:由四边形的透光部构成的主图案;由配置于主图案的周边的相移部构成的辅助图案;以及形成于主图案和辅助图案以外的范围的低透光部,当在主图案的周边定义包围主图案的、规定宽度的正八边形带时,辅助图案构成正八边形带的至少局部,将转印用图案所包括的多个主图案之一设为第一主图案,与第一主图案不同的第二主图案配置于接近第一主图案的位置,在构成包围第一主图案的正八边形带的八个区块中的、面对第二主图案侧的至少一个区块具有缺失的辅助图案配置于第一主图案的周边。
搜索关键词: 显示装置 制造 用光 以及 方法
【主权项】:
暂无信息
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