[发明专利]一种晶圆盒搬运机械手的移动装置在审
| 申请号： | 202310377876.7 | 申请日： | 2023-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116160479A | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 赵书荣 | 申请（专利权）人： | 江苏睿新库智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00;B25J19/06;B25J11/00 |
| 代理公司： | 合肥禾知知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34246 | 代理人： | 胡开春 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆盒搬运机械手的移动装置。该移动装置包括主体、带轮机构和安装架。主体由多个型材首尾吻合拼接而成。带轮机构包括传动轮、皮带、连接件和驱动件；至少两个传动轮同轴设置且为一组，两组传动轮分别转动连接在主体的两端；皮带套设在两组传动轮的外表面且齿纹啮合；连接件连接皮带两端，与皮带共组成一个闭环；驱动件安装在主体的其中一端部，并与其中一组传动轮连接，以驱动传动轮转动。安装架与连接件可拆卸连接，用于安装搬运机械手。本发明通过拼接的主体以及带轮机构的配合实现搬运机械手跨楼层移栽晶圆盒的功能，和现有采用直线模组相比，更具有灵活性，解决高度不匹配安装困难的问题，也便于维保以及后期的更换拆卸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆盒 搬运 机械手 移动 装置 | ||
【主权项】：
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