[发明专利]MEMS谐振器及其谐振频率调整方法在审
| 申请号： | 202310387426.6 | 申请日： | 2023-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN116470879A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 雷永庆;舒赟翌 | 申请（专利权）人： | 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 王敏生 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS谐振器，其包括：用于振动的谐振件、用于固定谐振件的锚固件以及连接锚固件和谐振件的耦合件；其中，耦合件上设有用于调节谐振频率的调整结构，调整结构包括设置在耦合件上的质量块和/或开设在耦合件上的凹槽。在这种情况下，能够保证MEMS谐振器的谐振结构完整性的同时，还能够调节MEMS谐振器的谐振频率使其位于目标频率范围内，以此提高MEMS谐振器的谐振频率精度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 及其 谐振 频率 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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