[发明专利]激光直写设备的数据处理方法、数据处理系统及相关设备在审

专利信息
申请号: 202310387956.0 申请日: 2023-04-12
公开(公告)号: CN116382042A 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 陈乃奇;柯喜;胡学艳 申请(专利权)人: 深圳市先地图像科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518126 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请实施例提供了激光直写设备的数据处理方法、数据处理系统及相关设备,预先在栅格图像中的竖直线的左向扫描行像素点和右向扫描行像素点之间设置像素偏移距离,使得在扫描成像过程中产生的位置延迟可以与预先设置的像素偏移距离抵消,从而可以通过检测左、右向扫描行的像素曝光点重合于同一直线的第二目标线段的方式,可视化测量左、右向扫描行的像素曝光点的相对位置延迟距离,实现了相对位置延迟距离的可视化检测。其次,可以根据检测得到的相对位置延迟距离对所需扫描成像的目标栅格图像中的左向或右向扫描行像素进行适应性调整,修正了左向扫描行像素点和右向扫描行像素点之间的相对位置延迟,提高了激光直写设备的成像精度。
搜索关键词: 激光 设备 数据处理 方法 数据处理系统 相关
【主权项】:
暂无信息
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