[发明专利]一种多材料面型可控毫米尺度透镜及其制备方法在审
| 申请号： | 202310389332.2 | 申请日： | 2023-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN116400440A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 刘学青;祁金勇;陈岐岱;孙洪波 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G03F7/20;B29C59/14;B29L11/00 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多材料面型可控毫米尺度透镜及其制备方法，属于激光微纳加工技术领域，本发明采取两束离子束斜入射的方法轰击在硬质材料样品表面，样品被固定在样品托上以一定速度均匀旋转，刻蚀一段时间可以得到一个非常光滑的毫米尺度透镜。本发明提供的毫米尺度透镜由于其出色的稳定性和表面质量，将其用作模板去转写毫米尺度凸透镜也是非常合适的。总之，本发明通过两束离子束斜入射的方法最终可以高效的在各种硬质材料表面刻蚀出光滑均匀且面型可控的毫米尺度透镜，一定程度上解决了毫米尺度透镜制备时表面形态控制困难，表面质量差，制备效率低，制备过程复杂等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 可控 毫米 尺度 透镜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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