[发明专利]一种用于气浮滑块压强分布的验证装置及方法在审

专利信息
申请号: 202310396215.9 申请日: 2023-04-14
公开(公告)号: CN116499632A 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 仇德中;牛增渊;丁辉 申请(专利权)人: 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司
主分类号: G01L11/00 分类号: G01L11/00;G01M13/00;G06F30/20
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人: 陈如建
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种用于气浮滑块压强分布的验证装置及方法,其中验证装置包括工作台、设置在工作台上的移动板、驱动移动板运动的驱动机构以及设置在移动板上方的限位机构,限位机构与工作台之间设有若干支撑柱,气浮滑块放置在移动板的上方,气浮滑块的下表面设有若干节流孔,气浮滑块通气时,气浮滑块与移动板之间形成气膜,限位机构限制气浮滑块向上运动,移动板上设有第一压力传感器,驱动机构驱动移动板相对于气浮滑块进行运动,第一压力传感器检测气浮滑块下方的压强,本发明既能够检测每个小孔节流静压气浮单元的压强,又能够使气浮滑块的压强分布可视化,有效地验证仿真模型的准确性和可靠性。
搜索关键词: 一种 用于 浮滑 压强 分布 验证 装置 方法
【主权项】:
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