[发明专利]体声波滤波器的制造方法、体声波滤波器、多工器及射频模组在审
| 申请号： | 202310398080.X | 申请日： | 2023-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN116436425A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 李朋;吴洋洋;曹庭松;杨扬;汪宏政 | 申请（专利权）人： | 北京超材信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄 |
| 地址： | 102600 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种体声波滤波器及制造方法、双工器和射频模组，其中体声波滤波器包括器件晶圆、底电极、压电层和顶电极；制造方法包括在器件晶圆上依次层叠设置底电极、压电层和顶电极，其中压电层覆盖底电极的一部分。在底电极和顶电极的远离器件晶圆的表面设置多个导电结构，其中，至少一个导电结构与底电极电连接，至少一个导电结构与顶电极电连接。将导电结构倒装连接在基板上，将器件晶圆和导电结构包覆封装结构，封装结构与基板相连接，形成封装体，其中器件晶圆、多个导电结构和基板之间形成空腔结构。切割封装体，形成体声波滤波器。上述的制造方法不需要封装晶圆，能够简化工艺，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 制造 方法 多工器 射频 模组 | ||
【主权项】：
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