[发明专利]一种材料内部荧光和衍射组合分析装置及分析方法在审

专利信息
申请号: 202310407957.7 申请日: 2023-04-17
公开(公告)号: CN116359259A 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 秦岭;蔡吉庆;张鹏程;唐涛;马策 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院材料研究所
主分类号: G01N23/046 分类号: G01N23/046;G01N23/20;G01N23/20008;G01N23/20016;G01N23/207
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 王芳
地址: 621700 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种材料内部荧光和衍射组合分析装置及分析方法,涉及无损检测技术领域,包括X射线光源、三维运动台、入射准直器、出射准直器、能量分辨探测器、探测器;三维运动台用于放置样品,X射线光源位于三维运动台的一侧,探测器位于三维运动台的另一侧,入射准直器设置在第一移动机构上,出射准直器和能量分辨探测器设置在第二移动机构上;当采用成像模式时,X射线光源发射X射线,通过探测器对样品进行CT扫描;当采用荧光模式和衍射模式时,入射准直器通过第一移动机构移动至X射线光源和三维运动台之间,出射准直器和能量分辨探测器能够通过第二移动机构移动。本发明能够实现材料内部的化学成分和晶体结构组合信息无损检测。
搜索关键词: 一种 材料 内部 荧光 衍射 组合分析 装置 分析 方法
【主权项】:
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