[发明专利]一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具在审
| 申请号： | 202310422305.0 | 申请日： | 2023-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN116237969A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 翟军明;李朋涛;杨光亮;陆天;闫磊;孙玉中;黄才钧;张长勇 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体股份有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具，其为适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具，适配于晶圆的有效位置示教，以此保证晶圆在机械手臂示教位置的精度，满足半导体设备运行需求。适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具包括透明晶圆治具、晶圆定位治具和静电吸盘定位治具，晶圆定位治具用于定位晶圆，透明晶圆治具用于夹持晶圆，静电吸盘定位治具用于定位静电吸盘中心位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适合 半导体设备 内部 机械 手臂 位置 静电 吸盘 | ||
【主权项】：
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