[发明专利]一种Lamb波声学器件杂波模式抑制结构在审
申请号: | 202310455761.5 | 申请日: | 2023-04-25 |
公开(公告)号: | CN116505907A | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 陈正林;李桦林;杜雪松;马晋毅;肖强;郑泽鱼;贺艺;董加和;潘虹芝;胡丞稷;米佳;梁柳洪 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/145;H03H9/25;H03H9/13 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 项晓丹 |
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摘要: | 本发明公开了一种Lamb波声学器件杂波模式抑制结构,包括电极指条层、压电薄膜层和支撑衬底层,所述电极指条层包括汇流排和指条,所述电极指条层位于所述压电薄膜层上,所述压电薄膜层位于所述支撑衬底层上,所述支撑衬底层包括沿轴向设置的两个支撑衬底,两个所述支撑衬底沿轴向方向设置在所述压电薄膜层的两端,且所述支撑衬底靠近所述压电薄膜层外侧的端面与所述压电薄膜层的外端面齐平,所述支撑衬底靠近所述压电薄膜层内侧的端面位于所述指条末端端面的下方。本发明能提高对杂波模式的抑制效果,进而实现低损耗、高平坦度等高性能Lamb波声学器件设计。 | ||
搜索关键词: | 一种 lamb 声学 器件 模式 抑制 结构 | ||
【主权项】:
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