[发明专利]基于模间隔锁定的高稳定度多模外腔半导体激光器

摘要

本发明公开了一种基于模间隔锁定的高稳定度多模外腔半导体激光器，属于半导体激光器技术领域。多模外腔半导体激光器包括依序设置在光路上的激光二极管、准直透镜、干涉滤光片、衰减片、激光腔镜和压电陶瓷，在多模外腔半导体激光器的输出端光路上设有模间隔锁定回路。通过干涉滤光片能够对激光二极管产生的光束进行选模，衰减片能够调节反馈率，压电陶瓷能够控制腔长，通过多模外腔半导体激光器能够输出多模激光，而模间隔锁定回路则可以将多模激光的模间隔锁定在微波信号上，实现稳定的多模输出。本发明激光器能够输出稳定的多模激光，能够作为多模式的激光参考源，可以用于标定激光频率。