[发明专利]微泡清洗液及使用该微泡清洗液的方法在审
| 申请号： | 202310495620.6 | 申请日： | 2023-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN116536116A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 左国军;任金枝;成旭;刘旭 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/02 | 分类号： | C11D7/02;H01L21/02;H01L21/67;B08B3/08;B08B3/02;B08B3/10;C25D5/54;C02F1/00 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了微泡清洗液及使用该微泡清洗液的方法，微泡清洗液由纯水和洁净气体制备得到，微泡清洗液内分布有表面携带电荷的微泡，微泡的直径范围为0.05um‑100um，且微泡的半衰期≥30s。使用该微泡清洗液的方法包含硅芯清洗方法、硅片清洗方法、硅料清洗方法、RCA清洗方法、硅片吸杂前清洗方法、硅片制绒方法、硅片碱抛光方法、硅片电镀方法、以及薄膜电镀方法中的至少一种。本发明通过增加微泡浓度和半衰期，提高微泡表面电荷量，并通过同种电荷之间相斥的原理，去除基片表面颗粒，大大提高了颗粒去除效果，降低成本且对环境友好。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 使用 方法 | ||
【主权项】：
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