[发明专利]一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片在审
| 申请号： | 202310528860.1 | 申请日： | 2023-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN116520470A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 郑磊;张钰;逯鑫淼;高敏;张朝晖;袁友芬;向广明;熊磊 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/00 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杨舟涛 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片，包括依次层叠的基底层、中间层和周期性的光栅阵列。所述中间层的折射率为1.4～1.5。所述周期性光栅阵列包括多个周期性排列的直条形层叠式光栅，其线宽W范围150～180nm，周期P范围为160～400nm。所述层叠式光栅自下而上分别为底部Ag层、BK7层、MgF |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 层叠 波长 光栅 透射 连续 调谐 滤光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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