[发明专利]一种阵列式探针组件、测试台及测试机在审
申请号: | 202310530912.9 | 申请日: | 2023-05-11 |
公开(公告)号: | CN116338437A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 杜海洋;伊力夏提.伊克木;祁佩恩;张唯伟;张焕德 | 申请(专利权)人: | 河北圣昊光电科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张立桐 |
地址: | 050000 河北省石家庄市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明涉及晶圆生产技术领域,具体涉及一种阵列式探针组件、测试台及测试机。一种阵列式探针组件,包括:框架;加电条,设于所述框架上,所述加电条的测试端适于与Bar条的待测试端接触,在测试状态下,所述加电条通电后与沿待测试Bar条贴合接触,对同一Bar条上的各颗芯片同时进行检测,以判断是否符合质量标准。本发明要解决普通探针无法同时对同一Bar条上的每颗芯片进行测试的缺陷,从而提供一种阵列式探针组件、测试台及测试机。 | ||
搜索关键词: | 一种 阵列 探针 组件 测试 | ||
【主权项】:
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