[发明专利]一种微液滴生成装置及应用在审
| 申请号： | 202310536004.0 | 申请日： | 2023-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN116422391A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 张华 | 申请（专利权）人： | 苏州矽劼微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;A61K9/16 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 赵颖 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微液滴生成装置及应用，沿微液滴挤出的方向，所述微液滴生成装置包括依次设置的硅衬底材料层、第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层、第一导电层、压电薄膜层以及第二导电层，所述第一导电层与第二导电层还分别独立地连接第三导电层；所述硅层上设置有微孔阵列；所述硅衬底材料层、第一氧化硅层、第二氧化硅层、第一导电层、压电薄膜层以及第二导电层的中部均开设有通槽，用于液体与微液滴的流通。本发明将微孔阵列直接集成至硅层上，极大地增加了液滴产生的通量；同时对压电薄膜层在中部进行了分割，最终可以实现高效制备且精准控制微液滴粒径，更加适用于雾化场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微液滴 生成 装置 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州矽劼微电子有限公司，未经苏州矽劼微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310536004.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铝型材生产用挤压设备及其使用方法
- 下一篇：一种桑葚含片及制备方法
