[发明专利]一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统在审
| 申请号： | 202310542458.9 | 申请日： | 2023-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN116463690A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 张新民;杨晓红;明平美;周洪亮;李伦旭;郭晓怡;杨政;刘欢;闫亮 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00 |
| 代理公司： | 北京合创致信专利代理有限公司 16127 | 代理人： | 刘素霞;刘秀奇 |
| 地址： | 454000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明专利公开了一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，包括搅拌桨、线阳极和粘附有胶膜图案的阴极基底，其特征在于：它还包括直线状激光束整形单元、直线状激光束、反射镜和透光玻璃；所述的透光玻璃固定于搅拌桨的底面；所述的直线状激光束由直线状激光束整形单元输出后经反射镜反射后竖直向下地射向搅拌桨并穿透透光玻璃射向阴极基底；所述的直线状激光束与线阳极平行；所述的直线状激光束与搅拌桨同步运动。本发明的优点是：采用直线状激光束辅助线阳极扫描，将传统的激光点状光斑改成直线状激光束的电铸技术，在掩模微细制件的制造中，电沉积速度大幅提高、电铸件厚度分布均匀性更高、电铸制件质量更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线状 激光束 辅助线 阳极 扫描 微细 电铸 系统 | ||
【主权项】：
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