[发明专利]一种外延用动密封沉积装置有效
| 申请号： | 202310550073.7 | 申请日： | 2023-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN116254599B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 郑锦;姚铖;陶佳月 | 申请（专利权）人： | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 南京华鑫君辉专利代理有限公司 32544 | 代理人： | 徐明慧 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种外延用动密封沉积装置，属于半导体设备技术领域。所述外延用动密封装置包括底板，所述底板的上方设置有定位调节机构，所述定位调节机构用于水平方向的定位调节，所述定位调节机构的上方设置有升降旋转机构，所述升降旋转机构的上方设置有工艺腔室，所述工艺腔室内设置有盛放顶出机构，所述升降旋转机构用于使所述盛放顶出机构升降旋转。本发明提供一种外延用动密封沉积装置，解决现有技术中沉积设备沉积均匀性较差以及沉积质量较差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 密封 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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