[发明专利]一种电容式MEMS麦克风及其制作方法在审
| 申请号： | 202310558443.1 | 申请日： | 2023-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN116567506A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 朱莉莉;黄湘俊 | 申请（专利权）人： | 湖北九峰山实验室 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 张文静 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及声电转换技术领域，提供一种电容式MEMS麦克风及其制作方法，上述的电容式MEMS麦克风包括衬底、振膜、悬挂架及背板；背板设于衬底上；悬挂架设于背板远离衬底的一侧；振膜的边沿悬挂设于悬挂架朝向背板的一侧；其中，振膜的上表面与悬挂架的下表面设有第一间隙，振膜的下表面与背板的上表面设有第二间隙。该电容式MEMS麦克风降低了振膜与悬挂架连接位置的应力，防止振膜因形变过大而破裂，使麦克风具有更高的稳定性，有效地提高了MEMS麦克风的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 mems 麦克风 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北九峰山实验室，未经湖北九峰山实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310558443.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种列管式换热器中传热管清洗设备
- 下一篇：一种超宽天线反射板
