[发明专利]一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘及其制备方法在审
| 申请号： | 202310572540.6 | 申请日： | 2023-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN116655386A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘娜 | 申请（专利权）人： | 山东鑫亿新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;H05B3/14;H05B3/20;C04B35/622;C04B35/632;C04B35/634 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 马俊荣 |
| 地址： | 255000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于加热盘及其制备方法的技术领域，具体涉及一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘及其制备方法。本发明所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘，是由以下原料按照质量百分比制成的：碳化硅：95.3‑97.98％；氮化硼：0.02‑0.20％；水溶胶：2.0‑4.5％；所述的水溶胶为糖和聚乙烯醇的混合物。本发明提供的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘，电气性能稳定性好，合格率高；本发明还提供其制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一次性 重结晶 圆环 碳化硅 加热 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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