[发明专利]一种微纳结构非晶碳薄膜、低温沉积方法及应用在审
| 申请号： | 202310599149.5 | 申请日： | 2023-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN116623130A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 王明松;李希;葛传鑫;刘桂武;乔冠军 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/24;C23C14/22;B22F1/18;B22F1/054;B82Y40/00;B82Y30/00;G01N27/12 |
| 代理公司： | 南京智造力知识产权代理有限公司 32382 | 代理人： | 田玉菲 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及功能薄膜材料技术领域，具体涉及一种微纳结构非晶碳薄膜及其低温沉积方法，包括以下步骤：①将小分子碳源均匀铺设在坩埚内，随后将坩埚置于箱式炉内；②将衬底架于坩埚开口正上方，关闭炉门；③启动加热，将炉子加热至沉积温度后进行保温处理，待沉积完毕后冷却至室温，得到微纳结构非晶碳薄膜。本发明以小分子碳源为原料，采用热蒸发法进行碳膜沉积，该制备方法具有沉积速度快，设备简易，重复性高等优点，可实现大规模制备。制备出的非晶碳薄膜表面呈现微纳结构，能够广泛应用于NO |
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| 搜索关键词： | 一种 结构 非晶碳 薄膜 低温 沉积 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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