[发明专利]一种保持环的表面形态检测方法、装置及系统在审
| 申请号： | 202310599208.9 | 申请日： | 2023-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN116625273A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 江国梁;吕晓东 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 薛娇 |
| 地址： | 201807 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种保持环的表面形态检测方法、装置及系统，属于芯片制造技术领域，该方法包括：当接收到启动检测的指令时，控制保持环移动，使所述保持环的下方形成检测空间，通过所述检测空间使轮廓传感器扫描所述保持环的表面；获取所述轮廓传感器采集的所述保持环的表面轮廓数据；根据所述保持环的表面轮廓数据确定所述保持环的轮廓特征参数；根据所述保持环的轮廓特征参数确定所述保持环的表面形态。本申请可以有效代替手动拆卸后测量检查，缩短检测时间，量化保持环的轮廓特征参数实现对保持环表面形态缺陷的早期检测，能提前发现研磨头过度损耗以及保持环表面材质破损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保持 表面 形态 检测 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
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