[发明专利]正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202310618190.2 | 申请日： | 2023-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN116655913A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 毛鸿超;李禾禾;王静;陈晓东;肖楠 | 申请（专利权）人： | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10;G03F7/32;G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027;H01L21/48 |
| 代理公司： | 厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282 | 代理人： | 张东明 |
| 地址： | 361027 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种正性光刻胶用聚酰亚胺树脂，按重量百分比，包括聚酰亚胺前驱体(PAA)75‑92.5％，超支化链前聚体11.5‑15.5％，光致酸剂1.2‑4.5％；所述聚酰亚胺前驱体(PAA)通过含氟二胺单体和含氟二酐单体聚合制得；所述超支化链前聚体为链式超支化烯基叔丁酯，所述链式超支化烯基叔丁酯由多元醇与烯基叔丁酯聚合制得。通过超支化聚合PAA、超支化链前聚体/共混光致酸剂或超支化聚合PAA、光致酸剂、超支化链前聚体得到两种链式结构的低Tg值、耐化的含氟聚酰亚胺树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 聚酰亚胺 树脂 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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