[发明专利]一种含氟耐腐蚀涂层的制备工艺

摘要

本发明公开了一种含氟耐腐蚀涂层的制备工艺，步骤包括受入、遮蔽、喷砂、熔射、去遮蔽和清洗包装。通过开发大气等离子喷涂的工艺参数，制备的含氟耐腐蚀涂层具有涂层孔隙低（2%）、结合力高（12Mpa）、硬度大（480HV）、含氧量低等优势，在刻蚀腔体核心设备表面（主要是铝制品）与卤素特别是含有氟基的等离子体反应，表面生成AlF‑、AlF2‑、AlF3等副产物，复合涂层表面的氟化铝可以更好的起到反应阻挡，因此具有更好的耐等离子性，本次使用氟化铝粉末，氟化铝难溶于水、酸及碱溶液，不溶于大部分有机溶剂，也不溶于氢氟酸及液体氟化氢，性质非常稳定，与液氨、甚至浓硫酸加热至发烟仍不起反应，与氢氧化钾共熔无变化，也不被氢气还原，加热不分解，但升华。