[发明专利]水冷装置和单晶炉在审
| 申请号： | 202310635809.0 | 申请日： | 2023-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN116590793A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 宋少杰 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张蓉 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种水冷装置，应用于单晶炉内，包括水冷套，沿所述水冷套的轴向方向，所述水冷套包括相对的第一端和第二端，在所述水冷套位于所述单晶炉内时，所述第二端靠近所述单晶炉内的坩埚设置，沿从所述第一端到所述第二端的方向，所述水冷套包括第一部分和第二部分，所述第一部分包括间隔设置的冷却区和非冷却区。本发明还涉及一种单晶炉。将所述水冷套沿其轴向方向进行分段设置，并在所述第一部分上设置冷却区和非冷却区，降低所述第一部分的冷却面积，从而降低所述第一部分的冷却效率，进而可以延长晶体在BMD形核温度(600‑850℃)区域滞留的时间以促进BMD形核密度。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷 装置 单晶炉 | ||
【主权项】：
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