[发明专利]一种宽带超低减反射膜及其制备方法在审
申请号: | 202310653220.3 | 申请日: | 2023-06-02 |
公开(公告)号: | CN116661026A | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 付秀华;魏雨君;陈琦;董所涛;林兆文;王奔;潘永刚 | 申请(专利权)人: | 中山吉联光电科技有限公司;长春理工大学中山研究院 |
主分类号: | G02B1/11 | 分类号: | G02B1/11;C03C17/34;C23C14/02;C23C14/24;C23C14/10;C23C14/08;G02B1/115 |
代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 赵然;黄贞君 |
地址: | 528414 广东省中山市火炬开发区东镇东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本申请提供一种宽带超低减反射膜及其制备方法,涉及光学薄膜技术领域,包括:S1、将基板放入真空室内,对真空室抽真空,当真空度为1×10 |
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搜索关键词: | 一种 宽带 减反射膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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