[发明专利]复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法在审
| 申请号： | 202310685265.9 | 申请日： | 2023-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN116497324A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 易典;王荣福 | 申请（专利权）人： | 深圳市汉嵙新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H10K71/16;H10K30/50;C04B35/495;C04B35/44;C04B35/47;C04B35/50;C04B35/622;C04B35/626 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 林青中 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法。该复合钙钛矿靶材包括：第一子靶材和第二子靶材，第一子靶材和第二子靶材均含有钙钛矿材料，且第一子靶材和第二子靶材中的钙钛矿材料不同；复合钙钛矿靶材呈柱状，柱状的复合钙钛矿靶材的侧表面包括第一侧表面以及位于第一侧表面之外的第二侧表面，至少部分第一子靶材露出于第一侧表面，至少部分第二子靶材露出于第二侧表面。相较于传统的溶液法，该复合钙钛矿靶材是一种溅射用的靶材，能够实现通过溅射法制备钙钛矿薄膜，该复合钙钛矿靶材能够用于制备含有多种钙钛矿材料的钙钛矿薄膜，并且在具有较高的制备效率同时，还能够保证钙钛矿薄膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 钙钛矿靶材 及其 制备 方法 钙钛矿 太阳电池 | ||
【主权项】：
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