[发明专利]一种新型Cd、Al共掺的铜锌锡硫硒薄膜制备方法

摘要

本发明公开一种新型Cd、Al共掺的铜锌锡硫硒薄膜制备方法，属于薄膜太阳能电池材料领域。本发明通过掺入不同比例的Cd/Zn去获得前驱体溶液，之后在前驱膜表面引入原子层沉积生长的Al2O3，再经高温退火得到吸收层薄膜，再用化学水浴法沉积CdS缓冲层，磁控溅射法制备窗口层，热蒸发法制备顶电极，该方法制备的铜锌锡硫硒薄膜结晶性良好，无二次相，不仅具有更好的开路电压，短路电流密度也有明显提升，最终基于Cd、Al共掺制备出的太阳电池光电转换效率达11.1％，相比于之前的8.5%的太阳电池光电转换效率提高了30.5%。