[发明专利]双模态谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310718823.7 | 申请日： | 2023-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN116633296A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 雷永庆;舒赟翌;李岩岩;朱雁青;李明 | 申请（专利权）人： | 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 贺妮妮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双模态谐振器及其制备方法，该方法包括：提供叠层结构；采用刻蚀工艺，于叠层结构的半导体器件层中形成间隙互相隔开的内、外谐振体，内、外谐振体驱动电极，内、外谐振体检测电极；外谐振体设置于内谐振体外周且通过耦合部嵌套连接，内、外谐振体驱动电极，内、外谐振体检测电极设置于外谐振体之内且相对环绕于内谐振体之外；基于内谐振体及外谐振体各自外侧的间隙，采用湿法腐蚀法去除其各自下方的绝缘层，以释放内谐振体及外谐振体。该方法可降低内嵌电极失效率，还可减小内、外谐振体双模态谐振器的总尺寸；同时避免降低内、外谐振体的Q值，提高其阻抗；另外，制备工艺简单，易于实现，降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 双模 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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