[发明专利]TOPCon太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种TOPCon太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：对清洗制绒后的硅片进行硼扩散、碱抛光，再在硅片背面沉积隧穿氧化层和掺杂层后退火并进行化学清洗；再次对硅片进行退火并在硅片背面形成氧化膜层，再在硅片正面沉积第一钝化膜层，然后在硅片的正面及背面均沉积第二钝化膜层，最后制备电极；掺杂层为磷掺杂纳米晶体氧化硅层。本发明中的TOPCon太阳能电池的制备方法，通过沉积磷掺杂纳米晶体氧化硅层代替传统的多晶硅层，有利于提高载流子收集的选择性，减少电池背面光的寄生吸收损失，有效提高电池背面的钝化质量；通过在硅片的正背面沉积第二钝化膜层，能够有效降低横向传输电阻，提升电池的性能。