[发明专利]一种单芯片集成的微镜反馈元件有效
| 申请号： | 202310923645.1 | 申请日： | 2023-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN116661130B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 白民宇;杨涛;吴建凰;苟勇;王丛华;巩少峰;张妮妮 | 申请（专利权）人： | 西安知象光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 弋才富 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区丈八街*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种单芯片集成的微镜反馈元件，在微镜转动处的上部外侧边缘布置发射器，在微镜固定处的上部内侧边缘布置探测器，微镜工作时发射器发出光束，当微镜的转动部分到达平衡位置附近时，发射器发出的光束到达探测器，探测器接收光束并产生脉冲信号输出，将该脉冲信号输入微镜驱动系统，可以确定微镜转动部分的达到平衡位置的时间，并确定其运动周期，从而实现对微镜的反馈控制；该微镜反馈元件采用光学反馈方式，几乎不受温度影响，并且信号稳定，信噪比高，处理电路简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 集成 反馈 元件 | ||
【主权项】：
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