[发明专利]一种探测器结构及其制作方法在审
申请号: | 202310935555.4 | 申请日: | 2023-07-28 |
公开(公告)号: | CN116666413A | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 孙建军;张世晓 | 申请(专利权)人: | 奕瑞影像科技(太仓)有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 215434 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种探测器结构及其制作方法,该探测器结构包括基板、反射层、闪烁体层及可见光传感层,其中,基板包括相对设置的入射面及出射面,反射层位于基板上且覆盖出射面的至少一部分,且反射层背离基板的一面上设有多个凸起,凸起自反射层背离基板延伸,闪烁体层位于反射层背离基板的一面上方,可见光传感层位于闪烁体层背离反射层的一面上方。该探测器结构通过改变反射层的膜层结构,有效提高反射光能量,从而有效提升探测器的灵敏度和图像质量,在应用于临床诊断时,能够实现低剂量高质量成像,减少对人体造成的损伤。该制作方法能够制作得到性能优良的探测器结构,并且制作方法简单易实现,能够实现大规模生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 探测器 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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