[发明专利]一种温度补偿型声表面波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310960840.1 | 申请日： | 2023-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN116667808A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 王博;邹洁;唐供宾 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种温度补偿型声表面波谐振器及其制备方法，属于TC‑SAW滤波器技术领域。本发明提供了一种温度补偿型声表面波谐振器，包括依次层叠设置的衬底层、叉指电极金属层、第一温度补偿层、悬浮金属层和第二温度补偿层，所述悬浮金属层的宽度为所述温度补偿型声表面波谐振器的波长的0.6~1倍。本发明利用悬浮金属层的横向结构变化，悬浮金属层的宽度随谐振器变迹区域的连续波长变化而变化，通过改变叉指电极指条末端的质量加载效应，使指条末端区域与中间区域产生声速差，形成更好的杂波抑制效果从而来提高谐振器和滤波器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 补偿 表面波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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