[发明专利]一种测量偏摆角的系统和方法有效
| 申请号： | 202310962045.6 | 申请日： | 2023-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN116659420B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 孟帅;曾旭;董玥然;陆海亮;邢玲玲;JJGM·汉斯·杜伊斯特 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃苏科思科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) 32367 | 代理人： | 翁德亿 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量偏摆角的系统和方法。主要包括激光发射接收分析单元，待测反射镜，参考反射镜和外反射镜。所述参考反射镜设置在待测反射镜的一侧且与待测反射镜之间留有一定间隙，所述参考反射镜与待测反射镜平行设置，所述外反射镜设置在参考反射镜的一侧，且外反射镜与激光发射接收分析单元发出的用于入射到待测反射镜的光线垂直，所述外反射镜用于将参考反射镜反射的光线进行反射。该系统有利于排除音圈电机动子纵向运动对测量结果的影响，且测量精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 偏摆角 系统 方法 | ||
【主权项】：
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