[实用新型]通用型取样机构及真空处理系统有效
| 申请号： | 202320012748.8 | 申请日： | 2023-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN219297633U | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 谢斌平;陈飞;王天邻;陈志刚;张鹏 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海国瓴律师事务所 31363 | 代理人： | 傅耀 |
| 地址： | 201900 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种真空取样机构及真空处理系统，真空取样机构包括：细长真空腔；取样组件，设置在细长真空腔外，取样组件包括第一取样爪和与第一取样爪相配合的第二取样爪，第一取样爪和第二取样爪能够张开或闭合以进行取样；以及取样驱动轴，取样驱动轴的近端设置在细长真空腔内，并且取样驱动轴的远端与取样组件连接，用于驱动第一取样爪和第二取样爪张开或闭合。 | ||
| 搜索关键词： | 通用型 取样 机构 真空 处理 系统 | ||
【主权项】：
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