[实用新型]一种直拉单晶硅的热场装置有效
| 申请号： | 202320015129.4 | 申请日： | 2023-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN219603760U | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 傅志斌;佟兴雪;傅欣;简晖;徐康 | 申请（专利权）人： | 安徽阜兴新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) 34158 | 代理人： | 刘跃 |
| 地址： | 236000 安徽省阜阳市开发区张*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了直拉单晶硅制备装置领域的一种直拉单晶硅的热场装置，包括碳碳材料保温桶内层、新型耐高温隔热保温填充料和碳碳材料保温桶外层，碳碳材料保温桶内层与碳碳材料保温桶外层为一体式铸造的一个圆筒状保温桶，保温桶位于碳碳材料保温桶内层与碳碳材料保温桶外层之间开设有空腔夹层，新型耐高温隔热保温填充料设置于空腔夹层中。本装置，新型耐高温隔热保温填充料的导热系数是石墨碳毡的十分之一，取代或部分取代石墨碳毡可以达到降低直拉单晶硅功率、减少石墨碳毡消耗、提高晶体品质的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 装置 | ||
【主权项】：
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