[实用新型]一种降低摩擦力防倾斜的T-Tray移动装置

摘要

本实用新型公开了一种降低摩擦力防倾斜的T‑Tray移动装置，属于导轨副结构技术领域。本实用新型包括主体、滚动件以及盖板，主体的两端开设有用于安装滚动件的空腔以及供导轨穿入的通孔，滚动件安装在主体内部并通过盖板密封，盖板通过紧固件固定在主体上。滚动件包括轴承与滚轮，滚轮套接在轴承上。本实用新型通过滚轮与轴承设计有效降低与导轨的摩擦系数且其动摩擦与静摩擦系数相差甚微，运动平稳，低速移动时不易出现爬行现象；将多个滚轮包裹导轨，实现定位精度高，抗震性能强，不易倾斜；并采用空腔、油封、加油孔设计，有效润滑滚轮、轴承与导轨，提高使用寿命，易维护保养，可满足半导体加工设备中T‑Tray移动所需要的抗震性、精度、生产维护成本低。