[实用新型]一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置

摘要

本申请公开了一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置，涉及晶片清洗技术领域，包括机架，所述机架顶部固定连接导轨，所述机架还包括：载台，所述载台固定在所述机架内壁的右侧，所述载台可上下运动，所述载台用于放置晶片；驱动装置，所述驱动装置固定在机架中，所述驱动装置还包括：刷辊，所述刷辊有若干组，所述刷辊还包括毛刷辊及海绵刷辊，所述毛刷辊和所述海绵刷辊相互平行且间隔设置，所述毛刷辊和所述海绵刷辊沿相反的方向转动，通过毛刷辊和海绵刷辊夹紧晶片，海绵刷辊充分接触晶片表面，晶片自转过程中毛刷辊和海绵刷辊转动刷洗晶片表面，充分去除晶片表面颗粒和脏污解决了晶片表面附着的颗粒无法完全脱落去除，洁净度不合格的问题。