[实用新型]一种用于纳米压印的辊压模组有效
| 申请号： | 202320066908.7 | 申请日： | 2023-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN219370198U | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 娄飞 | 申请（专利权）人： | 深圳市雕拓科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B41F19/08 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体设备技术领域，公开了一种用于纳米压印的辊压模组，包括外框体、压辊组件和模片张紧组件；其中外框体底部设置有安装位；压辊组件设置于外框体的顶部，压辊组件包括与外框体滑动连接的辊架、与辊架滑动连接的压力辊、驱动压力辊沿外框体长度方向运动的第一驱动组件、以及用于驱动辊架沿外框体高度方向运动的第二驱动组件；模片张紧组件设置于压力辊的下方并与安装位相配合。本实用新型解决的技术问题是致力于开发一种通用性和压印效率更高的用于纳米压印的辊压模组。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 压印 模组 | ||
【主权项】：
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