[实用新型]一种具有防错位结构的晶圆包装盒

摘要

本申请涉及一种具有防错位结构的晶圆包装盒，包括盒体和盒盖，盒体内设有第一分隔件，盒盖内侧设有第二分隔件，第一分隔件和第二分隔件均用于分隔和限位晶圆，第二分隔件包括边框和多个阵列设置在边框上的柔性压条，柔性压条上设有多个间隔布置的晶圆限位块，晶圆限位块上设有用于限位晶圆的导向卡槽，相邻柔性压条上的晶圆限位块相互独立，且在宽度方向上存在部分交叉，以阻止晶圆落入相邻晶圆限位块之间。本申请设置了防错位结构，能解决大部分的错位问题；又由于柔性压条都是相互独立的，在分隔方向的变形能力很强，在不进入导向卡槽的情况下，不会对晶圆产生较大的扭曲力，不易损伤晶圆。