[实用新型]一种非接触监测带电金属部件温度的系统有效
| 申请号： | 202320082128.1 | 申请日： | 2023-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN219045992U | 公开（公告）日： | 2023-05-19 |
| 发明（设计）人： | 张受业;初春 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛半导体科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01J5/48;G01J5/53 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 赵景焕 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种非接触监测带电金属部件温度的系统，其属于金属部件测温技术领域，其中金属部件具有至少一个空腔模拟黑体，至少一个空腔模拟黑体是在所述金属部件上加工得到的至少一个深孔；根据红外测温计的安装空间确定至少一个红外测温计的型号，通过对应型号的红外测温计测量所述至少一个深孔位置的红外热辐射信号，以间接量测和监控金属部件的温度变化；其中，金属部件为通电和/或发热状态的晶圆处理设备中的金属部件；其中被测量的深孔是处于热平衡状态下的深孔。本实用新型具有成本低、适用场景广泛，可用于长周期监控温度的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 监测 带电 金属 部件 温度 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛吉盛半导体科技（北京）有限公司，未经盛吉盛半导体科技（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202320082128.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
