[实用新型]一种喷淋头装置

摘要

本实用新型公开了一种喷淋头装置，包括外壳、内喷淋头、外喷淋头和用于驱动内喷淋头、外喷淋头上下运动的驱动机构，内喷淋头、外喷淋头和驱动机构均位于外壳内，内喷淋头与外喷淋头相互独立布置，内喷淋头和外喷淋头上分别单独设有驱动机构，内喷淋头和外喷淋头与驱动机构的输出端连接。内喷淋头和外喷淋头分别通过管路与化学气相沉积设备的气柜连接。在工艺腔室内喷淋头装置位于下电极基座的上方。本实用新型通过分区域调节高度，改变喷淋头与下电极基座的间距，搭配调节不同区域的气体流量，可优化沉积薄膜的厚度、台阶覆盖和应力等的均匀性。