[实用新型]一种用于单晶硅片切割的温控机构有效
申请号: | 202320118586.6 | 申请日: | 2023-02-06 |
公开(公告)号: | CN218928270U | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 胡刘羲;彭珍;邓佳旭;尤飞;陈珉璐;邹昕宇;唐彬彬;南旭波;蒋祖鹏 | 申请(专利权)人: | 无锡中环应用材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04 |
代理公司: | 无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32208 | 代理人: | 高坤明 |
地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于单晶硅片切割的温控机构,涉及单晶硅片切割设备结构技术领域,为解决现有的单晶硅片在切割的过程中会产生高温,这样会对单晶硅片的切割造成影响的问题。所述切割室的内部安装有安装箱,所述安装箱的上端安装有推动气缸,所述推动气缸的上方安装有放置座,所述放置座上端的两侧均设置有安装架,所述安装架的一端安装有夹持气缸,所述夹持气缸的一侧安装有夹持座,所述切割室两相对内壁的一侧均设置有转动装置箱,所述转动装置箱的一端设置有转动座,所述转动座的一侧安装有转动辊,所述切割室的上端安装有出水座,所述出水座的下方安装有喷嘴,所述喷嘴的一侧设置有挡板,所述挡板的一侧设置有冷风口。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶硅 切割 温控 机构 | ||
【主权项】:
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